保證微型真空燒結爐實現高真空度的措施有兩點，極限真空度和最大漏率極限。這兩點是真空設備的兩項重要指標，也是熱壓燒結爐正常運行的基本條件。影響最大漏率的因素有爐體的制造精度、爐體材料、密封材料、絕緣材料等。所以，應選擇漏率極低的材料作為主導材料，選擇密封性好的閥門，抽氣效率高的真空泵等。
 

　　微型真空燒結爐總放氣率系指材料的放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發、焊縫夾層內氣體的滲透，以及真空系統中工作介質的逆流和逆擴散等放氣的總和。其中材料的放氣率是影響真空度的最大因素。該爐中的材料包括：發熱元件、保溫材料、密封件、模具、制品的原材料等。就放氣率而言，在這些材料中保溫材料所占比重最大。在該爐中選擇金屬鉬片和石墨氈作為保溫材料，在高溫中放氣率極低。密封件材料選擇硅橡膠。
 

　　目前常用的發熱元件材料一般為鉬、鎢和石墨等。這幾種發熱材料必須在較高的真空度和有保護性氣氛的條件下才能正常工作。隨著爐內溫度的升高，爐內各種材料如發熱體、保溫材料、模具、被制備的原材料等有一個去氣和蒸發的過程，使真空度下降，影響發熱元件的壽命。所以，一般采用抗氧化的高純石墨制作發熱元件。
 

　　微型真空燒結爐被制備的材料要獲得一定的壓合成型力，外來的機械力要通過密閉的爐體，首先要考慮的是機械動密封問題。這種機械動密封裝置必須滿足兩個條件：正壓、負壓時均能維持極限真空。